Etude et réalisation de capteurs de gaz à base de silicium poreux

Abstract

L‟intérêt croissant pour la prévention de la pollution de l‟environnement est devenu ces dernières années un facteur clé dans le développement de toute industrie, en particulier celle des matériaux largement utilisés en microélectronique. Dans ce cadre,le silicium poreux a suscité une grande attention comme matériau appliqué à la détection en raison de la haute sensibilité de sa surface interne à la présence de gaz et d‟humidité. Dans notre travail, on se propose de contrôler les variations des propriétés électriques des capteurs à base de silicium poreux, causées par des substances chimiques gazeuses. Plusieurs caractéristiques électriques de notre structure ont été étudiées afin de vérifier la règle connue des six « S » : Sensibilité (sensibility); sélectivité (selectivity), réponse rapide (speed of réponse), stabilité (stability), la taille/la forme (size/shape) et le coût ($/cost.). Les résultats montrent que les caractéristiques courant-tension et capacité-tension sont modifiées par la réactivité du gaz sur la surface de notre capteur et ceci pour différents gaz et différentes concentrations. En outre, les résultats montrent que la conduction change selon la nature du gaz.

Mot clés : Silicium Poreux - Détecteur - Gaz - Caractéristiques Electriques