Contribution à la résolution du problème direct en scatterométrie par réseaux de neurones

Abstract

Le travail consiste à résoudre le problème direct par réseaux de neurones (PMC). Au départ ce problème se résolvait par la méthode modale par développement de Fourier. Pour notre étude, La résolution de ce problème consiste à la détermination de la signature Scatterométrique théorique d’un réseau périodique (intensités lumineuses) connaissant certains paramètres (dimensions géométriques, indices des matériaux, période et la longueur d’onde etc.). L’étude est de créer un RN et de lui fournir les dimensions du profil et de déterminer les intensités lumineuses (Is et Ic), puis comparer les signatures calculées par la MMMFE et le RN en calculant l’erreur quadratique et tracer les courbes de comparaison de ces signatures.

Mots-clés: scatterométrie, MMMFE, réseau de neurones, Matlab.

Contribution to the solution of the direct problem in scatterometry with neural networks

The work is to solve the direct problem by neural networks (PMC). Initially this problem solved by the modal method by Fourier expansion. For our study, the resolution of this problem consists in determining the theoretical scatterometric signing of a periodic array (light intensity) knowing certain parameters (geometrical dimensions, materials indices, period and wave Length etc.). The study is to create a RN and provide the profile dimensions and determine the light intensity (Is and Ic), and then compare the signatures calculated by MMMFE RN and by calculating the mean square error and trace curves comparison of these signatures.

Keywords: scatterometry, MMMFE, neural Network, Matlab.